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深圳市中圖儀器股份有限公司

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白光干涉顯微形貌儀

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參考價: ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW1

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：羅健查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-09-26 14:34:38瀏覽次數(shù)：330次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  顯微測量儀

掃描電鏡

臺階儀

共聚焦顯微鏡

白光干涉儀

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暫無信息

深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：200條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：羅健（網(wǎng)絡(luò)推廣）

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產(chǎn)品簡介

SuperViewW系列白光干涉顯微形貌儀是以白光干涉技術(shù)原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，是一款用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的納米級測量儀器。

詳細(xì)介紹

SuperViewW系列白光干涉顯微形貌儀是以白光干涉技術(shù)原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，是一款用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的納米級測量儀器。

產(chǎn)品簡介

SuperViewW系列白光干涉顯微形貌儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性；

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

SuperViewW系列白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
臺階測量
可測樣品反射率		0.05%~100
主機尺寸		700×606×920㎜

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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