產(chǎn)品簡介
伯東企業(yè)（上海）有限公司乃HVA 88200系列矩形真空閘板閥在中國的總代理, 全權(quán)負(fù)責(zé)其在中國市場的銷售和服務(wù).
溢流閥 排渣閥 卸料閥 平衡閥 管夾閥 蝶閥 球閥 截止閥 閘閥 柱塞閥 控制閥 燃?xì)忾y 安全閥 針型閥 隔膜閥
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詳細(xì)介紹
美國進(jìn)口HVA 88200系列矩形真空閘板閥
伯東企業(yè)（上海）有限公司乃美國 HVA 在中國的總代理, 全權(quán)負(fù)責(zé)其在中國市場的銷售和服務(wù).
HVA 88200系列矩形真空閘板閥特點:
ü 在閥開的狀態(tài), 密封圈*隱藏, 可以避免粉塵顆粒污染
ü 在閥閉的狀態(tài), 有擋板可以防止物質(zhì)進(jìn)入閥內(nèi)部, 防止污染, 保護(hù)閥正常使用.
ü 可現(xiàn)場維護(hù), VAT閥要求替換整個閥, HVA可留在系統(tǒng)上,維護(hù)時只取內(nèi)部零件,密封圈容易清潔或替換, 可明顯節(jié)省時間和維護(hù)成本.
ü 閥體積小, 振動低.
ü 硬質(zhì)不銹鋼驅(qū)動主軸, 使用壽命長.
ü 閥門板上沒有滾輪和導(dǎo)軌.
ü 閥體不是鑄鋁, 而是在鋁塊上機(jī)械切割出來的, 以減少鑄鋁中常見的氣泡和金屬放氣現(xiàn)象.
HVA 88200系列矩形真空閘板閥應(yīng)用領(lǐng)域:
• AKT 離子系統(tǒng)
• Emcore/Veeco,Cree,PECVD系統(tǒng)
• 大學(xué)和研究所
• 薄膜沉積系統(tǒng)
• 濺鍍或蒸發(fā)式沉積系統(tǒng)
• 開口寬度從
HVA 88200系列矩形真空閘板閥與VAT（02/03系列）技術(shù)規(guī)格比較表:
| | HVA （88200系列） | VAT （02/03系列） | |
| 材料 | 閥體和閥門 | 606I-T6 鋁 | EN AW-6082（3.2315） 鋁 |
| 密封波紋管 | AM-350 | AISI 633 （AM 350） | |
| 驅(qū)動主軸 | 硬質(zhì)不銹鋼 | AISI | |
| 密封材料 | Viton | FKM （VITON） | |
| 真空 | 真空范圍 | 1E-9 mbar | 1E-6 mbar 到 1.2 bar |
| 氦測漏 | <2E-9 mbar l/s | <1E-9 mbar l/s | |
| 容許壓差 | 1 bar （雙向） | 1.2 bar （雙向） | |
| 開閥前壓力 | ≥30 mbar | ≤30 mbar | |
| 烘烤溫度 | 人造橡膠 | | |
| 動作部分 | | | |
| 外圍部件 | 使用壓縮氣體 | 80 psig | 2-6 bar （20-90 psi） |
| 位置指示器 | 115VAC 或 28VDC, 20mA | ≤50 VAC/DC ,≤ | |
| 使用壽命 | 3,000,000+ | 5,000,000 | |
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